金融界2025年2月3日消息,国家知识产权局信息显示,浙江晶盛光子科技有限公司取得一项名为“炉门装置及扩散炉设备”的专利,授权公告号 CN 222418555 U,申请日期为 2024年5月。
专利摘要显示,本实用新型属于半导体加工技术领域,公开了炉门装置及扩散炉设备,炉门装置包括能够封闭炉口的炉门组件、驱动组件和防护组件,炉门组件连接于驱动组件的输出端,驱动组件包括第一驱动机构和第二驱动机构,第一驱动机构用于驱动炉门组件沿第一方向往复移动,第二驱动机构用于驱动炉门组件沿第二方向往复移动,以使炉门组件具有封闭炉口的关闭状态和远离炉口的打开状态;防护组件随炉门组件移动,当炉门组件处于打开状态,防护组件遮挡第一驱动机构和/或第二驱动机构,当炉门组件处于关闭状态,防护组件远离第一驱动机构和/或第二驱动机构。本实用新型的炉门装置能够对驱动组件形成有效防护且便于进行定期检查、维修,提高扩散炉设备的可靠性。
天眼查资料显示,浙江晶盛光子科技有限公司,成立于2023年,位于杭州市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本5000万人民币,实缴资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江晶盛光子科技有限公司专利信息80条。
来源:金融界
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